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半導體、光伏生產中擴散、PECVD/MOCVD、刻蝕、外延等工序，會產生 H?、SiH?、HCl、TEOS、CO、CH?、C?H?、SiCl?等易燃易爆廢氣，需高效穩定治理。天得一自研電熱水洗設備（Heat Wet Scrubber），為傳統濕式洗滌升級款，專門處理常溫難溶、易結晶半導體特氣。設備采用電加熱高溫裂解燃燒 + 高效水洗組合工藝，處理 1000℃內可分解特氣，廢氣凈化效率高達 99.9%，尾氣穩定達標國家排放標準。

1. 安全穩定：采用自動化控制，進行溫度、壓力、流量、液位等監測，聯動擴撒、調溫、降溫、報警、停機等多重安全聯鎖，確保全程受控；
2. 高效凈化：針對不同特氣定制化設計，凈化效率可高達99.9%；
3. 旋流緩沖：設備增加旋流緩沖，過渡溫降，防止粉塵堆積；
4. 耐腐蝕：采用強化防腐設計，具有優良的耐腐蝕性能；
5. 智控孿生賦能：融合數字孿生與集中智制優勢，通過感知矩陣、多維交互、場景化智控等技術，實現設備全生命周期深度賦能。

適用于半導體與光伏生產的擴散（Diffusion）、化學氣相沉積（PECVD/MOCVD）、刻蝕（Etch）、外延（EPI）等關鍵工序中，產生H2、SIH4、HCL、TEOS、CO、CH4、C2H6、SiCl?等多種易燃易爆廢氣治理。